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等離子清洗機
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等離子清洗機
V1000/1000X/1000XS
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機 ，搭載RIE·DP 雙模式 。
特點
  • 矽晶圓的灰化及蝕刻 。
  • 基板表麵汙垢處理 。
  • IC/LED封裝 、BGA/CSP基板處理 。
  • 半導體相關部品的電子材料的幹式清洗。
  • 自然氧化膜·有機物去除 。
  • 界麵活性處理 。
  • 表麵汙染物去除 。
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