洁净厌氧高温气氛炉
DTN430C/630C/450C/650C
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等 。
特点
- 最高工作温度360℃和500℃。
- 采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
- 高气密性的压力箱构造 ，氧浓度到达时间短 ，N2 消耗量极低。
- 磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响 。
- 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节 。
- 标准装备有废液回收装置 ，对气体进行冷却回收。
安全性
- 门检测开关
- 温度过升防止器
- 氧浓度异常安全装置
- 氮气压力检测
- 氮气流量检测
- 冷却水流量检测
- 漏水传感器
- 过电流漏电漏电保护开关
